公證處公證無效后，可通過復查、行政復議、行政訴訟、民事訴訟等法律救濟途徑來維護自身權益。

1. 申請復查：當事人、公證事項的利害關系人認為公證書有錯誤的，可以向出具該公證書的公證機構(gòu)提出復查。公證機構(gòu)會對相關情況進行審查，如果公證書的內(nèi)容違法或者與事實不符的，公證機構(gòu)應當撤銷該公證書并予以公告，該公證書自始無效；公證書有其他錯誤的，公證機構(gòu)應當予以更正。復查申請需要在規(guī)定的時間內(nèi)提出，一般是自知道或者應當知道該項公證之日起一年內(nèi)向出具公證書的公證機構(gòu)提出，最長不超過自公證書出具之日起二十年。

2. 行政復議：如果當事人認為公證機構(gòu)的行為侵犯了其合法權益，并且該行為屬于可申請行政復議的范圍，當事人可以向其上級主管部門或者同級人民政府申請行政復議。不過需要注意的是，并非所有公證機構(gòu)的行為都能申請行政復議，只有當公證機構(gòu)在行使行政管理職能時的具體行政行為侵犯了當事人合法權益，才可以適用行政復議程序。

3. 行政訴訟：當事人對公證機構(gòu)的具體行政行為不服的，也可以向人民法院提起行政訴訟。通過行政訴訟，由法院對公證機構(gòu)的行政行為是否合法進行審查。如果法院認定公證機構(gòu)的行政行為違法，會判決撤銷或者部分撤銷該行政行為，并可以判決公證機構(gòu)重新作出行政行為。

4. 民事訴訟：如果因為公證無效給當事人或者利害關系人造成了損失，受損失的一方可以向人民法院提起民事訴訟，要求有過錯的公證機構(gòu)承擔相應的賠償責任。在民事訴訟中，需要證明公證機構(gòu)存在過錯以及該過錯與損失之間存在因果關系。如果涉及到公證事項所涉及的民事權利義務糾紛，當事人也可以通過民事訴訟的方式來解決基礎的民事爭議。

《中華人民共和國公證法》第三十九條 當事人、公證事項的利害關系人認為公證書有錯誤的，可以向出具該公證書的公證機構(gòu)提出復查。公證書的內(nèi)容違法或者與事實不符的，公證機構(gòu)應當撤銷該公證書并予以公告，該公證書自始無效；公證書有其他錯誤的，公證機構(gòu)應當予以更正。

《中華人民共和國公證法》第四十三條 公證機構(gòu)及其公證員因過錯給當事人、公證事項的利害關系人造成損失的，由公證機構(gòu)承擔相應的賠償責任；公證機構(gòu)賠償后，可以向有故意或者重大過失的公證員追償。當事人、公證事項的利害關系人與公證機構(gòu)因賠償發(fā)生爭議的，可以向人民法院提起民事訴訟。

《中華人民共和國行政復議法》第二條 公民、法人或者其他組織認為具體行政行為侵犯其合法權益，向行政機關提出行政復議申請，行政機關受理行政復議申請、作出行政復議決定，適用本法。

《中華人民共和國行政訴訟法》第二條 公民、法人或者其他組織認為行政機關和行政機關工作人員的行政行為侵犯其合法權益，有權依照本法向人民法院提起訴訟。前款所稱行政行為，包括法律、法規(guī)、規(guī)章授權的組織作出的行政行為。